- Вакуумное перемещение пластин
- Шлюзовые камеры
- Технологические модули
- Повторяемость
- Пропускная способность
- Контроль загрязнений
Описание
Вакуумный робот SIASUN серии Phoenix B перемещает пластины между шлюзовыми камерами, передаточными камерами и технологическими модулями (осаждение, травление, метрология) без нарушения контролируемых сред.
Улучшает повторяемость, производительность и контроль загрязнений в полупроводниковом и чистопроизводственном производстве.
Серия Phoenix B применяется в полупроводниковых, образовательных и промышленных задачах вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Вакуумный робот SIASUN серии Phoenix B
- Обычная цена
- Цена по запросу
В наличии
Человекоподобные роботы
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
