- Pressão atmosférica
- Módulos front-end
- Carregar portas/alinhadores
- Postos de inspeção
- Precisão compacta
- Integração do EFEM
Descrição
O manipulador atmosférico SIASUN Blade-D156 transporta wafers (ou substratos semelhantes a wafers) entre módulos front-end, portas de carregamento, alinhadores, estações de inspeção e interfaces de ferramentas de processo à pressão ambiente.
Posicionado como uma plataforma de transferência compacta e de precisão, integra-se frequentemente num EFEM ou numa célula integrada de manuseamento de materiais.
O Blade-D156 destina-se a aplicações de semicondutores, inspeção e manuseamento atmosférico industrial.
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Características
Especificações
| Modelo | Blade-D156 |
|---|---|
| Tipo de robô | Manipulador atmosférico |
| Utilização prevista | EFEM, gestão do front-end |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O SIASUN Blade-D156 é um manipulador atmosférico compacto destinado à integração de EFEM e módulos front-end. Transferência de wafer de precisão em portas de carga, alinhadores e estações de inspeção.
Lâmina do manipulador atmosférico SIASUN D156 é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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Lâmina do manipulador atmosférico SIASUN D156
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