De SIASUN SM15 Vacuümrobot verplaatst substraten (zoals wafers) of gevoelige onderdelen tussen load locks, vacuümkamers en interne stations in geïntegreerde procesapparatuur.

Ondersteunt herhaalbare doorvoer, nauwkeurige handling en minder menselijke tussenkomst in de halfgeleiderproductie.

De SM15 wordt ingezet voor vacuümhandling in de sectoren halfgeleiders, inspectie en industrie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.