De SIASUN SM14 Vacuümrobot opereert door of binnen vacuümkamers en vacuümcompatibele transfermodules. Verplaatst kwetsbare substraten tussen processtations met hoge herhaalbaarheid.

Een sleuteltechnologie voor moderne fabs en geavanceerde vacuümproceslijnen waar doorvoer en contaminatiebeheersing cruciaal zijn.

De SM14 wordt ingezet voor vacuümtransfer in de sectoren halfgeleiders en industrie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.