De SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Robot behoort tot de "clean robot"-subsystemen van SIASUN, waaronder EFEM-handling en vacuümtransferplatforms. Verplaatst gevoelige substraten tussen proces- en opslaglocaties.

Minimaliseert contaminatie en handlingrisico's voor wafers of panelen in halfgeleider- en geavanceerde productie.

De Phoenix-S25 is geschikt voor schone productietoepassingen in halfgeleiders en industrie.

Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.