De SIASUN Vacuum Robot Archer Series verplaatst wafers of substraten tussen proceskamers in geclusterde apparatuur. Ontworpen voor vacuümomgevingen met herhaalbare beweging en hoge uptime.

Geïntegreerd met front-end automatiseringsmodules en vacuümclustertools om deeltjesvorming te verminderen en schone productie te waarborgen.

De Archer Series is geschikt voor vacuümverwerkingstoepassingen in halfgeleiders en industrie.

Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.