De vacuümmanipulator uit de SIASUN PHOENIX-serie opereert binnen een vacuümtransfermodule (VTM) of transferkamer van een cluster tool. Verplaatst substraten (doorgaans siliciumwafers) tussen load locks en meerdere proceskamers.

Voldoet aan strikte reinheidseisen, positioneernauwkeurigheid en uptime-eisen als onderdeel van het front-end automatiseringsecosysteem.

De Phoenix-serie wordt ingezet voor toepassingen in halfgeleiders, logistiek, onderzoek en inspectie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.