De SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) fungeert als gecontroleerde interface tussen het materiaaltransport in de fabriek en de interne transfer van procesapparatuur. Coördineert waferbelading, uitlijning/overdracht en transfer.

Handhaaft contaminatiebeheersing en gestandaardiseerde apparatuurcommunicatie in halfgeleiderwaferfabrieken.

De TSS-3000 is geschikt voor waferhandlingtoepassingen in halfgeleiders, logistiek en industrie.

Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.