De SIASUN SM11 Vacuümrobot opereert binnen vacuümkamers en clustertool-architecturen. Ontwikkeld voor contaminatiebeheersing, herhaalbaarheid en betrouwbare cycluslevensduur.

Voorzien van een direct-drive motorstructuur, een uitgebreide I/O-module, configureerbare veiligheidszones en botsbeveiliging.

De SM11 wordt ingezet voor vacuümhandling in de sectoren halfgeleiders en industrie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.