De SIASUN Blade-D156 Atmosferische Manipulator verplaatst wafers (of waferachtige substraten) tussen front-end modules, load ports, aligners, inspectiestations en procestool-interfaces bij omgevingsdruk.

Gepositioneerd als een compact precisietransferplatform, vaak onderdeel van een EFEM of geïntegreerde materiaalhandlingcel.

De Blade-D156 wordt ingezet voor atmosferische handling in de sectoren halfgeleiders, inspectie en industrie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.