SIASUN Vakum Robotu Archer Serisi, kümelenmiş ekipmanda proses odaları arasında wafer veya alt tabaka aktarır. Tekrarlanabilir hareket ve yüksek çalışma süresiyle vakum ortamları için tasarlanmıştır.

Parçacık oluşumunu azaltmak ve temiz üretimi sürdürmek için ön uç otomasyon modülleri ve vakum küme araçlarıyla entegre edilmiştir.

Archer Serisi yarı iletken ve endüstriyel vakum işleme uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.