SIASUN TSS-3000 EFEM (Ekipman Ön Uç Modülü), fabrika malzeme taşıması ile proses takımı iç transferi arasında kontrollü bir arayüz görevi görür. Wafer yüklemesini, hizalama/devir teslimini ve transferi koordine eder.

Yarı iletken wafer fabrikalarında kontaminasyon kontrolünü ve standartlaştırılmış ekipman iletişimini sürdürür.

TSS-3000 yarı iletken, lojistik ve endüstriyel wafer taşıma uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.