- Robot per la pulizia
- Gestione dei substrati
- Trasferimento di processo/stoccaggio
- Controllo della contaminazione
- Gestione della riduzione del rischio
- Produzione avanzata
Descrizione
Il robot a vuoto SIASUN PHOENIX-S25 fa parte dei sottosistemi “clean robot” di SIASUN, che comprendono piattaforme di movimentazione EFEM e di trasferimento a vuoto. Trasporta substrati sensibili tra le aree di lavorazione e quelle di stoccaggio.
Riduce al minimo il rischio di contaminazione e di manipolazione per wafer o pannelli nei settori dei semiconduttori e della produzione avanzata.
Il Phoenix-S25 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori e della produzione industriale in ambiente pulito.
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Caratteristiche
Specifiche tecniche
Settori industriali
Robot a vuoto Phoenix di SIASUN
- Prezzo di listino
- Prezzo su richiesta
Disponibile
Braccio robotico
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