- Camere a vuoto
- Sistemi load-lock
- Strumenti per i cluster
- Wafer/pannelli/supporti
- Orientato al vuoto
- Isolamento dall'aria
Descrizione
Il manipolatore sottovuoto SIASUN PHOENIX-S25 è integrato in camere a vuoto, sistemi load-lock e strumenti cluster. Trasporta parti o substrati (wafer, pannelli, supporti, componenti di precisione) tra i moduli di processo.
Si posiziona come piattaforma di manipolazione orientata al vuoto senza esporre i materiali all’aria ambiente.
Il Phoenix-S25 è destinato ad applicazioni di movimentazione sottovuoto nel settore dei semiconduttori e in ambito industriale.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Manipolatore a vuoto serie PHOENIX-S25 |
|---|---|
| Tipo di robot | Manipolatore a vuoto |
| Destinazione d'uso | Manipolazione dei semiconduttori |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il manipolatore sottovuoto SIASUN PHOENIX-S25 gestisce i substrati all’interno di camere a vuoto e cluster tool. Trasferimento isolato dall’aria per wafer, pannelli e componenti di precisione.
Manipolatore a vuoto SIASUN Phoenix è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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Manipolatore a vuoto SIASUN Phoenix
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Disponibile
Braccio robotico
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