- Wafer da 200 mm/300 mm
- 0,5 kg di carico utile
- Design compatto
- Ad alta velocità
- Elevato livello di pulizia
- Interfaccia FOUP/cassetta
Descrizione
Il SIASUN Blade-DD250 Atmospheric Manipulator supporta i formati di wafer Φ200 mm e Φ300 mm con portata ≤0,5 kg. Si posiziona come soluzione di trasferimento compatta, ad alta velocità e ad alta pulizia.
Utilizzato alle interfacce tra apparecchiature di processo, porte di carico, cassette/FOUP nell'automazione di fabbrica in camera bianca.
Il Blade-DD250 è destinato ad applicazioni di movimentazione atmosferica nei settori semiconduttori e industriale.
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Caratteristiche
Specifiche tecniche
Settori industriali
Pala del manipolatore atmosferico SIASUN DD250
- Prezzo di listino
- Prezzo su richiesta
Disponibile
Braccio robotico
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