Le robot sous vide SIASUN SM15 transfère des substrats (tels que des plaquettes) ou des pièces sensibles entre les sas de chargement, les chambres à vide et les postes internes des outils de procédé intégrés.

Il favorise un débit répétable, une manipulation précise et une intervention humaine réduite dans la fabrication de semi-conducteurs.

Le SM15 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur, de l'inspection et industriel.

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