- نقل الرقاقة المفرغة من الهواء
- أقفال التحميل
- وحدات المعالجة
- التكرار
- الإنتاجية
- مكافحة التلوث
Description
Le SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transfère les wafers entre sas de chargement, chambres de transfert et modules de procédé (dépôt, gravure, métrologie) sans rompre les environnements contrôlés.
Il améliore la répétabilité, le débit et le contrôle de la contamination dans la fabrication de semi-conducteurs et en salle blanche.
La Phoenix B Series est destinée aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs, l'éducation et l'industrie.
Contactez-nous pour connaître les prix et la disponibilité.
Fonctionnalités
Spécifications
Secteurs
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series
- Prix régulier
- Prix sur demande
En stock
الروبوتات الشبيهة بالبشر
Consultés récemment
Vous n'avez encore consulté aucun produit.
