Le SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Robot est regroupé au sein des sous-systèmes "robots propres" de SIASUN, comprenant la manipulation EFEM et les plateformes de transfert sous vide. Il déplace des substrats sensibles entre les zones de procédé et de stockage.

Il minimise la contamination et le risque de manipulation pour les wafers ou panneaux dans la fabrication de semi-conducteurs et la fabrication avancée.

Le Phoenix-S25 est destiné aux applications de fabrication propre dans les semi-conducteurs et l'industrie.

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