Le manipulateur sous vide SIASUN série PHOENIX PLUS fonctionne au sein d'équipements de procédé sous vide tels que les outils cluster pour le dépôt, la gravure ou les procédés sous vide connexes.

Il transfère des plaquettes ou des substrats entre les sas de chargement, les modules de procédé et les postes de métrologie tout en maintenant des conditions de vide contrôlées.

La série Phoenix Plus répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.

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