Le SIASUN PHOENIX PLUS B Series Vacuum Manipulator fait partie des composants "robots propres" de SIASUN, aux côtés des systèmes EFEM et des plateformes de transfert sous vide. Il est associé à la fabrication de semi-conducteurs et à la fabrication de haute propreté.

Il déplace les substrats avec une génération minimale de particules et une haute répétabilité dans les environnements de salle blanche.

La Phoenix Plus B Series est destinée aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs et l'industrie.

Contactez-nous pour connaître les prix et la disponibilité.