Le manipulateur sous vide SIASUN PHOENIX-S25 s'intègre aux chambres à vide, aux systèmes de sas de chargement et aux outils cluster. Il déplace des pièces ou des substrats (plaquettes, panneaux, supports, composants de précision) entre les modules de procédé.

Il se positionne comme une plateforme de manipulation orientée vide sans exposer les matériaux à l'air ambiant.

Le Phoenix-S25 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.

Contactez-nous pour connaître les prix et la disponibilité.