Le SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) sert d'interface contrôlée entre le transport des matériaux de l'usine et le transfert interne de l'équipement de procédé. Il coordonne le chargement des wafers, l'alignement/passation et le transfert.

Il assure le contrôle de la contamination et une communication standardisée entre équipements dans les usines de wafers semi-conducteurs.

Le TSS-3000 est destiné aux applications de manipulation de wafers dans les semi-conducteurs, la logistique et l'industrie.

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