- النقل بالتفريغ
- معتمدة من SEMI
- موثوقية عالية
- مناولة الركيزة
- غرف تفريغ الهواء
- وحدات التحويل
Description
Le robot de transfert sous vide SIASUN SRBZ820C fonctionne dans l'automatisation des semi-conducteurs et des procédés sous vide. Il travaille à l'intérieur ou à proximité des chambres à vide et des modules de transfert pour déplacer des substrats sensibles.
Il est généralement présenté comme une solution certifiée SEMI d'une grande fiabilité pour la manipulation de plaquettes.
Le SRBZ820C répond aux applications de transfert sous vide dans les secteurs semi-conducteur, de l'inspection et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
Secteurs
Robot de transfert sous vide SIASUN SRBZ820C
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الذراع الروبوتية
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