Le robot sous vide SIASUN SM11 fonctionne à l'intérieur des chambres à vide et des architectures d'outils cluster. Conçu pour le contrôle de la contamination, la répétabilité et une durée de vie en cycles fiable.

Il intègre une structure à moteur à entraînement direct, un module d'E/S étendu, des zones de sécurité configurables et une protection anticollision.

Le SM11 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.

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