El SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transfiere obleas entre esclusas de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso (deposición, grabado, metrología) sin romper los entornos controlados.

Mejora la repetibilidad, el rendimiento y el control de contaminación en la fabricación de semiconductores y salas limpias.

La Phoenix B Series atiende aplicaciones de manipulación en vacío en semiconductores, educación e industria.

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