El SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Robot se agrupa dentro de los subsistemas de "robots limpios" de SIASUN, que incluyen manipulación EFEM y plataformas de transferencia en vacío. Mueve sustratos sensibles entre ubicaciones de proceso y almacenamiento.

Minimiza la contaminación y el riesgo de manipulación de obleas o paneles en la fabricación de semiconductores y manufactura avanzada.

El Phoenix-S25 atiende aplicaciones de fabricación limpia en semiconductores e industria.

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