El SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfiere obleas o sustratos entre cámaras de proceso en equipos de tipo clúster. Diseñado para entornos de vacío con movimiento repetible y alta disponibilidad.

Se integra con módulos de automatización front-end y herramientas de clúster de vacío para reducir la generación de partículas y mantener una fabricación limpia.

La Archer Series atiende aplicaciones de procesamiento en vacío en semiconductores e industria.

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