El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX PLUS opera dentro de equipos de proceso al vacío como las herramientas cluster para deposición, grabado o procesos al vacío relacionados.

Transfiere obleas o sustratos entre esclusas de carga, módulos de proceso y estaciones de metrología manteniendo condiciones de vacío controladas.

La serie Phoenix Plus atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.

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