- مناور تفريغ الهواء
- مكون الروبوت النظيف
- الحد الأدنى من الجسيمات
- قابلية عالية للتكرار
- متوافق مع غرف التعقيم
- نظافة عالية
Descripción
El SIASUN PHOENIX PLUS B Series Vacuum Manipulator forma parte de los componentes de "robots limpios" de SIASUN, junto con los sistemas EFEM y las plataformas de transferencia en vacío. Se asocia a la fabricación de semiconductores y de alta limpieza.
Mueve sustratos con generación mínima de partículas y alta repetibilidad en entornos de sala limpia.
La Phoenix Plus B Series atiende aplicaciones de manipulación en vacío en semiconductores e industria.
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Características
Especificaciones
Sectores
SIASUN Vacuum Manipulator Phoenix Plus B Series
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الذراع الروبوتية
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