El manipulador de vacío SIASUN PHOENIX-S25 se integra en cámaras de vacío, sistemas de esclusas de carga y herramientas cluster. Mueve piezas o sustratos (obleas, paneles, portadores, componentes de precisión) entre módulos de proceso.

Se posiciona como una plataforma manipuladora orientada al vacío sin exponer los materiales al aire ambiente.

El Phoenix-S25 atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.

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