- Interfaz de front-end EFEM Conecta el sistema de transporte de materiales de la fábrica y el entorno de transferencia interno del equipo de proceso para una transferencia de obleas estandarizada.
- Diseño compatible con SEMI Se presenta como un sistema de interfaz compatible con las normas SEMI para la comunicación e integración de equipos.
- Robot de transferencia de doble brazo Un robot de doble brazo con un eje externo proporciona un movimiento de obleas de alta eficiencia en el front-end del equipo.
- Huella compacta La arquitectura de huella reducida se adapta a los front-ends de equipos de fábrica con espacio limitado.
- Coordinación de transporte flexible Mueve obleas de forma manual o en coordinación con el transporte de fábrica, como los sistemas aéreos.
- Control de la contaminación Permite transferencias de obleas repetibles a la vez que reduce el contacto del operario con los sustratos críticos.
Descripción
El SIASUN TSS-3000 es un EFEM (Equipment Front End Module) para la fabricación de semiconductores, que actúa como interfaz controlada entre el sistema de transporte de materiales de una fábrica y el entorno de transferencia interno de un equipo de proceso. Coordina la carga, la alineación y la transferencia de obleas, a la vez que contribuye al control de la contaminación y a una comunicación de equipos estandarizada y compatible con SEMI.
Diseñado con una huella reducida, el TSS-3000 emplea un robot de transferencia de doble brazo con un eje externo para mover obleas de forma manual o en coordinación con el transporte de fábrica, como los sistemas aéreos, lo que permite una manipulación de obleas de alta eficiencia y repetible en el front-end del equipo. Es adecuado para entornos de fábrica de obleas en sala limpia donde se requieren interfaces estandarizadas y un contacto reducido del operario con los sustratos críticos. Contáctenos para conocer precios y disponibilidad.
Características
Especificaciones
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modelo | TSS-3000 |
| Tipo de robot | EFEM (Equipment Front End Module) / sistema de transferencia de obleas de front-end |
| Interfaz | Interfaz de front-end compatible con SEMI |
| Robot de transferencia | Robot de doble brazo con un eje externo |
| Huella | Compacta / huella reducida |
| Operación | Manual o coordinada con el transporte de fábrica (p. ej. sistemas aéreos) |
| Aplicaciones típicas | Manipulación en front-end de fábrica de obleas, carga y alineación/transferencia de obleas |
Sectores
Preguntas frecuentes
Contáctenos para conocer el precio actual, la disponibilidad y un presupuesto a medida del SIASUN Truss Robot.
Es un robot de pórtico cartesiano para la manipulación repetible de materiales, sobre todo la carga y descarga de máquinas CNC, las transferencias entre operaciones y las líneas de automatización de procesos en planta.
Sí. Con su amplia envolvente de trabajo y su longitud de raíl escalable, un solo robot de pórtico puede atender varias máquinas CNC o estaciones de trabajo, reduciendo el número de dispositivos de manipulación independientes.
Su interfaz de efector final acepta pinzas neumáticas o servo, ventosas, pinzas magnéticas y cambiadores de herramientas, por lo que puede configurarse para la manipulación de piezas, superficies planas o férricas y celdas multioperación.
Sí. Robotix Market abastece a empresas de todo el mundo con facturación y soporte posventa. Contáctenos para solicitar un presupuesto.
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