El robot de vacío SIASUN SM11 opera dentro de cámaras de vacío y arquitecturas de herramientas cluster. Diseñado para el control de la contaminación, la repetibilidad y una vida útil de ciclos fiable.

Incorpora una estructura de motor de accionamiento directo, un módulo de E/S ampliado, zonas de seguridad configurables y protección contra colisiones.

El SM11 atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.

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