- النقل بالتفريغ
- حركة الرقاقة
- التحكم في الضغط
- الحد من التلوث
- واجهة التحميل/التفريغ
- التدفق القابل للتكرار
Beschreibung
Die SIASUN Diagram 600 Vacuum Transfer Platform ermöglicht Waferbewegungen zwischen Lade-/Entladeschnittstellen und vakuumbasierten Prozessmodulen. Hält kontrollierte Druckbedingungen aufrecht, um Kontamination zu reduzieren.
Hauptsächlich eingesetzt für den Wafertransfer innerhalb von Halbleiteranlagen zur Unterstützung wiederholgenauer Produktionsabläufe.
Die Diagram 600 eignet sich für Vakuumtransfer-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Forschung und Industrie.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600
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