Der SIASUN SM14 Vakuumroboter arbeitet durch oder innerhalb von Vakuumkammern und vakuumkompatiblen Transfermodulen. Bewegt empfindliche Substrate zwischen Prozessstationen mit hoher Wiederholgenauigkeit.

Eine Schlüsseltechnologie für moderne Fabs und fortschrittliche Vakuumprozesslinien, in denen Durchsatz und Kontaminationskontrolle entscheidend sind.

Der SM14 wird für Vakuumtransfer in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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