Der SIASUN SM13 Vakuumroboter bietet hohe Reinheit, mehrere Sicherheitsfunktionen und flexible Steuerung von Ellbogen und Handgelenk. Die optimierte Armstruktur erhöht die Steifigkeit und unterdrückt Schwingungen.

Unterstützt Hochgeschwindigkeitsbetrieb beim Substrat-Handling in kontrollierten Umgebungen.

Der SM13 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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