Der SIASUN SM12 Vakuumroboter handhabt Siliziumwafer und LED-Saphirsubstrate. Das Design setzt auf Steifigkeit, Schwingungsunterdrückung und schnelle Bewegungen durch eine Leichtbaustruktur.

Arbeitet in kontrollierten Vakuum- oder vakuumnahen Umgebungen mit wiederholgenauem Substrat-Handling.

Der SM12 wird für Substrat-Handling in den Bereichen Halbleiter, LED und Industrie eingesetzt.

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