Die SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transferiert Wafer zwischen Load-Locks, Transferkammern und Prozessmodulen (Abscheidung, Ätzen, Messtechnik), ohne kontrollierte Umgebungen zu unterbrechen.

Verbessert Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle in der Halbleiter- und Reinraumfertigung.

Die Phoenix B Series eignet sich für Vakuumhandling-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Bildung und Industrie.

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