Der SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Robot gehört zu den "Clean-Robot"-Subsystemen von SIASUN, einschließlich EFEM-Handling und Vakuumtransferplattformen. Bewegt empfindliche Substrate zwischen Prozess- und Lagerorten.

Minimiert Kontamination und Handlingrisiken für Wafer oder Panels in der Halbleiter- und fortschrittlichen Fertigung.

Der Phoenix-S25 eignet sich für saubere Fertigungsanwendungen in Halbleiterindustrie und Industrie.

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