Die SIASUN Vacuum Robot Archer Series transferiert Wafer oder Substrate zwischen Prozesskammern in Cluster-Anlagen. Entwickelt für Vakuumumgebungen mit wiederholgenauer Bewegung und hoher Verfügbarkeit.

Integriert mit Front-End-Automatisierungsmodulen und Vakuum-Cluster-Tools, um Partikelbildung zu reduzieren und eine saubere Fertigung aufrechtzuerhalten.

Die Archer Series eignet sich für Vakuumprozess-Anwendungen in Halbleiterindustrie und Industrie.

Kontaktieren Sie uns für Preise und Verfügbarkeit.