Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX PLUS-Serie arbeitet in Vakuumprozessanlagen wie Cluster-Tools für Abscheidung, Ätzen oder verwandte Vakuumprozesse.

Transferiert Wafer oder Substrate zwischen Load-Locks, Prozessmodulen und Metrologiestationen unter kontrollierten Vakuumbedingungen.

Die Phoenix Plus-Serie wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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