- غرف تفريغ الهواء
- أنظمة قفل التحميل
- أدوات المجموعة العنقودية
- الرقاقات/اللوحات/الحاملات
- موجه نحو الفراغ
- عزل الهواء
Beschreibung
Der SIASUN PHOENIX-S25 Vakuum-Manipulator wird in Vakuumkammern, Load-Lock-Systeme und Cluster-Tools integriert. Bewegt Teile oder Substrate (Wafer, Panels, Carrier, Präzisionskomponenten) zwischen Prozessmodulen.
Positioniert als vakuumorientierte Manipulator-Plattform, ohne Materialien der Umgebungsluft auszusetzen.
Der Phoenix-S25 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix
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الذراع الروبوتية
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