Der SIASUN SM11 Vakuumroboter arbeitet in Vakuumkammern und Cluster-Tool-Architekturen. Entwickelt für Kontaminationskontrolle, Wiederholgenauigkeit und zuverlässige Zyklenlebensdauer.

Ausgestattet mit Direktantriebs-Motorstruktur, erweitertem I/O-Modul, konfigurierbaren Sicherheitszonen und Kollisionsschutz.

Der SM11 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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