- رقائق 200 مم/300 مم
- 0.حمولة 5 كجم
- تصميم مدمج
- عالية السرعة
- نظافة عالية
- واجهة FOUP/كاسيت
Beschreibung
Der SIASUN Blade-DD250 Atmosphären-Manipulator unterstützt Φ200mm- und Φ300mm Waferformate mit ≤0.5kg Traglast. Positioniert als kompakte, schnelle, hochreine Transferlösung.
Eingesetzt an Schnittstellen zwischen Prozessanlagen, Load-Ports und Kassetten/FOUPs in der Reinraum-Fabrikautomatisierung.
Der Blade-DD250 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade DD250
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الذراع الروبوتية
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