Der SIASUN Blade-D156 Atmosphären-Manipulator bewegt Wafer (oder waferähnliche Substrate) zwischen Frontend-Modulen, Load-Ports, Alignern, Inspektionsstationen und Prozessanlagen-Schnittstellen bei Umgebungsdruck.

Positioniert als kompakte Präzisions-Transferplattform, häufig Teil eines EFEM oder einer integrierten Materialhandling-Zelle.

Der Blade-D156 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.

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